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南京市江北新區(qū) 研創(chuàng)園激光芯片公共技術服務平臺

時間：2022-02-24

研創(chuàng)園激光芯片公公技術服務平臺位于南京市浦口區(qū)西華北路1 號，項目建筑面積6309.79m2，其中萬級區(qū)1535m2，千級區(qū) 1134m2，百級區(qū)21m2。配電房、機組間、特氣間、純水間、廢 水間等輔助功能間3234m2。合同額3299萬，工期100天。 項目包含：潔凈系統(tǒng)、消防、PCW、CDA、PV、有機排風、無機 排風、熱排風、純水系統(tǒng)、廢水系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、DCC系統(tǒng)、 弱電系統(tǒng)。
萬級區(qū)采用的是AHU+高效箱的方式，溫濕度要求為：22±1℃，50±5%RH。
千級區(qū)采用的是MAU+DCC+FFU的方式，溫濕度要求為：22±0.5℃，45±3%RH，光刻間溫濕度要求為：22±0.5℃，
40±3%RH，每小時變化率不高于±0.1℃。

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