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一、?超純水系統(tǒng)總體介紹?
????隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧?、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。?
    超純水系統(tǒng)總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分：?超純水制造區(qū)（CUB部分）；?超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）；?超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區(qū)）。?
    其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。?預(yù)處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池）；?一次純水部分主要包括：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過(guò)濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透；?
超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過(guò)濾器。?但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。?
二、?超純水系統(tǒng)中各階段常用管材?
????在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質(zhì)、又應(yīng)該做到經(jīng)濟(jì)合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。
    一般在超純水制造區(qū)預(yù)處理階段多采用PVC管或SUS304管。設(shè)備面管一般采用內(nèi)襯膠鋼管（SGP?RL），對(duì)于水泵等產(chǎn)生震動(dòng)的動(dòng)力設(shè)備周邊采用SUS304管；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透（RO）之間，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mpa級(jí)法蘭。由于RO對(duì)水溫有一定要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應(yīng)采用SUS304管；在超純水制造階段，主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC管；拋光循環(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管（焊接連接，并要求雙面成型）和PVDF管。超純水回收管道采用CPVC管。?
    在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管；在純水制造過(guò)程中酸堿等加藥管線，應(yīng)采用耐沖擊PVC管；純水系統(tǒng)中使用的氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS304管，超純水拋光系統(tǒng)所用氮?dú)夤艿啦捎肧US316管；壓縮空氣系統(tǒng)在純水系統(tǒng)中作為氣動(dòng)閥開(kāi)關(guān)動(dòng)力，一般采用SUS304管或SGP管，當(dāng)采用SGP管時(shí)進(jìn)入電氣盤(pán)前需加過(guò)濾器。?
三、?超純水系統(tǒng)施工?
????超純水系統(tǒng)水站部分施工難度最大，其主要包括三個(gè)部分：設(shè)備的搬入及安裝，共用管架的制作安裝以及管道的安裝。設(shè)備的移入一定要注意編制詳細(xì)的設(shè)備吊裝方案，特別是對(duì)于超重、超大、易損設(shè)備，千萬(wàn)不可以野蠻冒險(xiǎn)施工。共用架臺(tái)的施工要注意兩個(gè)環(huán)節(jié)：?
    1、架臺(tái)與土建結(jié)構(gòu)連接處一定要堅(jiān)固，最好采用預(yù)埋鐵板。若因種種原因不能預(yù)埋，則應(yīng)用化學(xué)鉚栓固定在梁上，不應(yīng)使用一般的簡(jiǎn)易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡(jiǎn)易膨脹螺栓固定在樓板上；?
    2、整段管架一定要保持水平，以免管道與共架接觸部位由于應(yīng)力不均勻引起管道彎曲破損。?水站的管道施工除CDA、氮?dú)饧盁峤粨Q器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統(tǒng)進(jìn)行施工外，其他站內(nèi)管道施工可分為兩大部分，即共架管道施工和設(shè)備周邊配管施工。開(kāi)工初期兩部分可以同時(shí)進(jìn)行施工。當(dāng)共架直管段與設(shè)備本體配管完成之后，應(yīng)該從設(shè)備周邊管道向共架管道進(jìn)行連接配置，最終與共架管道相連形成封閉的管路系統(tǒng)。